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ppt级异丙醇除硼!护航SEMI G5级湿电子化学品标准

2026-01-1621

  在电子产业迈向微米、纳米级精密制造的今天,“纯度”是决定产品成败的核心生命线。而异丙醇(IPA)作为电子行业不可或缺的“精密清洁助剂”,其纯度直接关联半导体芯片、电子元器件的性能与可靠性。

  一、SEMI G5级湿电子化学品标准

  硼作为半导体制造中的关键污染物,在电子级异丙醇中有更为严苛的专项要求,这是因为:

  ·硼是半导体中常用的 p 型掺杂剂,微量残留即可改变 MOS 晶体管阈值电压,影响芯片良率;

  ·硼易与异丙醇形成共沸络合物,仅靠传统精馏难以深度去除,是 G5 级纯化的核心技术壁垒。

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  根据SEMI 标准及行业先进实践,G5 级电子级异丙醇(E-IPA)对硼的专项要求为≤10ppt(0.01ppb),部分高端半导体工厂为满足 7nm 及以下制程需求,会进一步将硼含量控制在≤1ppt,以确保芯片性能与良率稳定性。

  二、科海思异丙醇除硼3大核心优势

  然而传统纯化工艺却藏着除硼不彻底、滤层易饱和、运维风险高等多种问题。导致人工+滤材成本居高不下。

  面对电子行业的除硼难题,科海思深入洞察生产实际痛点,摒弃“头痛医头”的传统思路,打造从“预处理→核心除硼→后处理”的全链路工艺体系,每一个环节都为“提纯度、稳产能、降成本”量身定制,最终使硼杂质降至5ppt级别。

  1. 功能分区优化

  ·预处理区:通过导流板与分液部件,让异丙醇均匀渗透滤层,避免局部过载;

  ·除硼核心区:单独划分硼靶向吸附单元,与其他杂质过滤区物理隔离;

  ·后处理区:设置精密质控单元,确保流出溶剂纯度。

  2. 特种树脂靶向除硼

  采用科海思除硼专属离子交换树脂。

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  ·高选择性:对硼离子吸附选择性达99.9%,不吸附异丙醇,不影响溶剂挥发性与清洁力;

  ·强吸附容量:单位体积吸附量是传统树脂的2-3倍,能深度捕捉ppt级微量硼,杜绝除而不尽;

  ·耐溶剂腐蚀:适配异丙醇的化学特性,使用寿命达1-2年,远超传统材料的使用周期。

  搭配阴阳离子复合滤层二次提纯,最终实现硼杂质稳定控制在5ppt以下,完全满足半导体、高端电子的严苛标准。

  3.模块化设计降本又省力

  ·柔性适配工艺:无需改线,直接对接现有生产链 科海思工艺体系不搞“大拆大建”,采用模块化设计+标准化接口,可根据企业产能需求,灵活配置纯化单元;

  ·支持连续化生产:采用多组纯化罐并行布局,通过连通管协同作业 —— 更换某一组滤层时,其余罐体正常运行,彻底告别传统单罐设计停机换芯的麻烦,保障生产不中断;

  三、良率提升、成本大减、风险可控

  通过功能分区优化与专用过滤材料选型,该装置不仅除硼效率高,还能显著延长有效过滤周期,减少滤层更换频率。同时,一体化结构设计杜绝泄漏风险,保障生产环境安全,为企业实现降本增效提供切实支撑。

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  科海思的工艺优势,最终都转化为企业的实际收益,每一项都可量化、可验证。这项工艺体系的核心技术已获国家专利授权(专利号:ZL 202422618700.9),不仅是技术创新的权威认证,更代表着“全流程优化”的行业趋势——科海思不只是提供一套设备,而是为电子厂量身定制“纯度达标、产能稳定、成本可控”的异丙醇纯化解决方案。

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  无论是半导体制造,还是电子元器件生产,科海思都将以专利技术为支撑,守护电子行业的纯度生命线!

  如果您正面临异丙醇纯化、微量杂质去除等生产难题,欢迎联系科海思,解锁定制化解决方案。

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